Sự phát triển của công nghệ đo lường 3D bắt đầu vào những năm 1960 với sự ra đời của máy đo kích thước 3 chiều (CMM).
Các thiết bị này sử dụng đầu dò cảm ứng vật lý để nắm bắt hình dạng của vật thể, đánh dấu một cột mốc quan trọng trong mô hình kỹ thuật số và kỹ thuật chính xác.
Vào những năm 1970, hệ thống đo khoảng cách bằng tia laser đã được giới thiệu, tạo nên cuộc cách mạng trong lĩnh vực này với khả năng đo lường không tiếp xúc và mở đường cho công nghệ quét 3D hiện đại.
Đến những năm 1980, máy scan cầm tay thương mại đầu tiên đã xuất hiện, tích hợp công nghệ laser để chụp các chi tiết bề mặt với độ chính xác đáng kinh ngạc.
Những đổi mới này cho phép tạo ra các mô hình kỹ thuật số của các vật thể vật lý, chuyển đổi các ngành công nghiệp như ô tô, hàng không vũ trụ và chăm sóc sức khỏe.